ด้วยการลดลงของตลาดการตัดลวดเวเฟอร์ซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์และโมโนคริสตัลไลน์ซิลิคอนทำให้ตลาดการตัดผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวในประเทศหดตัวอย่างมาก แต่ในด้านการตัดลวดเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งการตัดวงกลมด้านในของซิลิกอนผลึกเดี่ยว เนื่องจากการตัดของเหลวของสายตัดซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถป้องกันความเรียบของพื้นผิวเวเฟอร์ที่จะตัดได้ดีกว่าการตัดแบบแข็งของเส้นตัดเพชร ผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวมากhttp://greensiliconcarbide.comมีสถานที่ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เสมอ เนื่องจากผงซิลิกอนคาร์ไบด์แบบตัดลวดของเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดที่แตกต่างกันมากมายสำหรับประสิทธิภาพของวัสดุจากสารกัดกร่อนแบบดั้งเดิม ความต้องการที่สูงขึ้นจึงถูกนำเสนอในแง่ของคุณภาพ
- มาตรฐานขนาดอนุภาคซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว
เนื่องจากการผลิตผงซิลิกอนคาร์ไบด์ในประเทศสำหรับการตัดลวดเซมิคอนดักเตอร์เริ่มล่าช้า ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศเริ่มนำเข้าผลิตภัณฑ์จากผู้ผลิตที่มีชื่อเสียงในประเทศที่พัฒนาแล้ว เช่น ESK ในเยอรมนีและ FUJIMI ในญี่ปุ่น ดังนั้น ผู้ผลิตผงซิลิกอนคาร์ไบด์ในประเทศบางรายจึงใช้มาตรฐานยุโรป (FEPA) มาตรฐานญี่ปุ่น (JlS) และมาตรฐานอเมริกัน (ANSI)
อย่างไรก็ตาม เนื่องจากผงซิลิกอนคาร์ไบด์ตัดลวดของเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศส่วนใหญ่ส่งออกไปยังประเทศญี่ปุ่น มาตรฐานของญี่ปุ่นจึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในประเทศ ความแตกต่างที่ใหญ่ที่สุดระหว่างมาตรฐานในประเทศและต่างประเทศคือดัชนีขนาดอนุภาคที่ใช้ในต่างประเทศได้เพิ่มขึ้น D0 (ขนาดอนุภาคสูงสุด) ในขณะที่มาตรฐานในประเทศไม่ได้ ในขั้นตอนนี้ มาตรฐานภายในประเทศส่วนใหญ่ยังคงอยู่ในมาตรฐานของสารกัดกร่อนและสารกัดกร่อนทั่วไป
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องการการกระจายขนาดอนุภาคของผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวเพื่อให้เข้มข้นที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ เพื่อตอบสนองความต้องการด้านความแม่นยำของการตัดลวด
- องค์ประกอบทางเคมีของซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว
องค์ประกอบทางเคมีมีผลกระทบต่อรูปแบบผลึกและผลของการใช้ผงซิลิกอนคาร์ไบด์ ยิ่งองค์ประกอบทางเคมีสูงเท่าไร ประสิทธิภาพโดยรวมก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น
- รูปร่างอนุภาคของซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว
ในฐานะที่เป็นผงขนาดเล็กแบบตัดลวดสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ รูปร่างของอนุภาคจะมีผลกระทบอย่างมากต่อผลการประมวลผลตัวอย่าง โดยทั่วไป แตกต่างจากกลไกการเจียรที่ใช้ในกระบวนการเจียร ผงซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการตัดลวดเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องมีค่าความกลมที่แน่นอน และอนุภาคควรมีขอบและมุมที่แหลมคม
- ความหนาแน่นรวมของซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว
ความหนาแน่นรวมเป็นตัวบ่งชี้ที่สำคัญอีกอย่างหนึ่งของผงซิลิกอนคาร์ไบด์ เมื่อขนาดอนุภาคของคาร์บอรันดัมไมโครพาวเดอร์อยู่ในระดับไมครอน พื้นที่ผิว พลังงานพื้นผิว และพลังงานการยึดเกาะของพื้นผิวจะเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว ปัจจัยหลักที่ส่งผลต่อความหนาแน่นรวมของผงขนาดเล็ก ได้แก่ พื้นที่ผิวจำเพาะ พลังงานพื้นผิว พลังงานการยึดเกาะพื้นผิว และแรงปฏิสัมพันธ์ระหว่างอนุภาค
- ความสะอาดของซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว
เนื่องจากเศษมีความต้องการสูงในความสะอาดของพื้นผิว หากพื้นผิวของเศษปนเปื้อนด้วยสิ่งสกปรก ผลิตภัณฑ์อาจถูกทิ้ง เมื่อตัดหรือขัดเศษ สิ่งสกปรกจะเกาะติดได้ง่าย ดังนั้นความสะอาดพื้นผิวของผงตัดลวดเซมิคอนดักเตอร์จึงค่อนข้างสูง ผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวจะผลิตส่วนหนึ่งของคาร์บอนในระหว่างกระบวนการถลุง ในกระบวนการคัดกรองในภายหลัง แม้ว่าซิลิกอนคาร์ไบด์ดิบจะถูกดอง แต่หลังจากการเจียรเพิ่มเติม ยังคงมีส่วนหนึ่งของคาร์บอนอิสระในบล็อกซิลิกอนคาร์ไบด์ กระบวนการผลิตผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวคือการดองหลังจากการบด หลีกเลี่ยงคาร์บอนฟรีที่ตกค้างในเนื้อเยื่อ และความบริสุทธิ์จะสูงขึ้น (สามารถเข้าถึง SiC มากกว่า 99%)
- ปริมาณกรดและด่างของผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว
กระบวนการผลิตทั่วไปของผงไมโครไนซ์คือกระบวนการดอง ในกระบวนการทั้งหมด หากการล้างด้วยน้ำไม่ทั่วถึงเพียงพอ กรดตกค้างและสิ่งสกปรกจะเหลืออยู่บนผิวของอนุภาคไมโครพาวเดอร์ สารตกค้างเหล่านี้อาจไม่ชัดเจนในระยะไมโครพาวเดอร์ แต่ถ้าทำเป็นผลิตภัณฑ์ จะแสดงความแตกต่างของประสิทธิภาพ ซึ่งจะส่งผลต่อผลิตภัณฑ์ คุณภาพ.