ผง SiC สีดำ 800# สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ – เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน
ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบเซรามิกประสิทธิภาพสูงถือเป็นสิ่งสำคัญ โดยเฉพาะอย่างยิ่งเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นส่วนประกอบที่สำคัญในอุปกรณ์สำคัญ เช่น เครื่องแกะสลัก เครื่องพิมพ์หิน เครื่องฝังไอออน ฯลฯ ตัวอย่างเช่น ถ้วยดูดสำหรับการเจียรและขัด ถ้วยดูดการพิมพ์หิน ถ้วยดูดสำหรับการตรวจสอบ กระบวนการแกะสลัก และแท่นจับการเคลื่อนไหว ต่างก็มีคุณสมบัติ การปรากฏตัวของเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เหล่านี้มีเสถียรภาพทางโครงสร้างที่ดี เสถียรภาพทางความร้อน ความต้านทานการสึกหรอ ความต้านทานการกัดกร่อน และความแม่นยำของมิติสูง ผงซิลิกอนคาร์ไบด์ซึ่งเป็นวัตถุดิบหลักในการผลิตเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ จะต้องมีคุณสมบัติที่ดีและมีเสถียรภาพด้วย ในบรรดาผลิตภัณฑ์เหล่านั้น ผง SiC สีดำ 800#สำหรับถ้วยดูดเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีรูพรุนเป็นการใช้งานทั่วไป
ด้วยการผลิตผง SiC ที่ผ่านการกลั่นแล้ว คุณสมบัติทางกายภาพและเคมี และความคงตัวของขนาดอนุภาคจึงมีความก้าวหน้าอย่างมาก ผง SiC สีดำละเอียดที่กลั่นจากการคัดกรอง การล้างกรดอัลคาไล และการล้างน้ำ เหมาะสำหรับความต้องการของสาขาเทคโนโลยีขั้นสูง เช่น เซมิคอนดักเตอร์มากกว่า ลักษณะเฉพาะมีดังนี้:
1. เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง
ผง SiC สีดำมีจุดหลอมเหลวและความเสถียรทางความร้อนสูงมาก ช่วยให้เซรามิกที่มีรูพรุนสามารถรักษาประสิทธิภาพที่ดีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงได้
2. มีความบริสุทธิ์สูง
หลังจากการบำบัดด้วยสารเคมีและการล้างน้ำ ผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีดำจะมีปริมาณแม่เหล็กต่ำ มีปริมาณคาร์บอนอิสระต่ำ มีความลื่นไหลดีและกระจายตัวได้ง่าย
3. ความเข้มข้นของขนาดอนุภาคสูง
ความสม่ำเสมอสูงในด้านขนาดอนุภาค ช่วงอนุภาคผงที่แคบ และความหนาแน่นของการอัดตัวสูง สามารถปรับปรุงความหนาแน่นของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ได้
4. คุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยม
Black SiC มีความแข็ง ความแข็งแกร่ง และความต้านทานแรงอัดที่ดีเยี่ยม สามารถเพิ่มความแข็งแรงเชิงกลและความต้านทานการสึกหรอของเซรามิกที่มีรูพรุนได้
5. เสถียรภาพทางเคมีที่แข็งแกร่ง
ซิลิกอนคาร์ไบด์สีดำมีความทนทานต่อการกัดกร่อนต่อกรด เบส และสารเคมีส่วนใหญ่ได้ดี ที่สามารถปรับปรุงความเสถียรทางเคมีและความต้านทานการกัดกร่อนของเซรามิกที่มีรูพรุน
6. การนำความร้อนที่ดี
เนื่องจากการนำความร้อนสูงของซิลิกอนคาร์ไบด์สีดำ เซรามิกที่มีรูพรุนจึงสามารถถ่ายเทและกระจายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้น
7. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ
ซิลิคอนคาร์ไบด์สีดำมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำกว่า ช่วยลดความเครียดจากความร้อนและความเสียหายของเซรามิกที่มีรูพรุนภายใต้การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
8. เพิ่มความต้านทานการเกิดออกซิเดชัน
Black SiC สามารถปรับปรุงความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันของเซรามิกที่มีรูพรุนและยืดอายุการใช้งานได้
โดยสรุป การใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์สีดำเป็นสารเติมแต่งหรือวัสดุฐานสำหรับเซรามิกที่มีรูพรุนสามารถปรับปรุงความเสถียรที่อุณหภูมิสูง สมบัติทางกล ความเสถียรทางเคมี และคุณสมบัติอื่นๆ อื่นๆ ได้อย่างมีนัยสำคัญ ข้อดีเหล่านี้ทำให้นำไปใช้กันอย่างแพร่หลายมากขึ้นในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง ความดันสูง และการกัดกร่อนสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
