ไมครอนซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวสำหรับการขัดวัสดุ PZT

ไมครอนซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวเป็นสารกัดกร่อนที่ไม่ใช่โลหะมีความแข็งสูงมีความแข็งแรงเชิงกลสูง มันสามารถทำการเจียรที่ดุดันได้ ซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวมีข้อดีอย่างมากสำหรับการเจียรวัสดุ PZT ( เซรามิกเพี ยโซอิเล็กทริก )

PZT เป็นวัสดุเซรามิกเชิงฟังก์ชันที่แปลงพลังงานกลและพลังงานไฟฟ้าให้เป็นพลังงานซึ่งกันและกัน มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านทัศนศาสตร์ เซมิคอนดักเตอร์ เครื่องมือ และสาขาอื่นๆ อย่างไรก็ตาม เซรามิกส์นั้นเปราะบางและยากต่อการประมวลผลด้วยเพียโซอิเล็กทริก ในขั้นตอนการรักษาพื้นผิวภายหลังของเซรามิก PTZ เครื่องขัดแบบสองด้านจะใช้ในการบดและขัดแผ่นเวเฟอร์ PZT โดยทั่วไป การรักษาพื้นผิวของ PZT เช่น การกัดหยาบและการเจียร จะดำเนินการกับซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว 50 ไมครอน 40 ไมครอน 20 ไมครอนและ14 ไมครอน. หลังจากการหยาบ พื้นผิวแผ่นเวเฟอร์จะสม่ำเสมอโดยไม่มีรอยขีดข่วน และความหยาบสามารถเข้าถึง 1.2-1.5um ในขั้นตอนของการขัดละเอียดและการเจียรละเอียด คอรันดัมสีขาว 14 ไมครอน 7 ไมครอนและผง 5 ไมครอนจะถูกเลือกสำหรับการเจียรละเอียด ความหยาบของผลิตภัณฑ์หลังการขัดเงาน้อยกว่า 50 นาโนเมตร

เพื่อให้บรรลุผลการเจียรของการขัดโดยไม่มีรอยขีดข่วน ขนาดอนุภาคของสารกัดกร่อนซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวจำเป็นต้องได้รับการควบคุมอย่างเข้มงวด ในสถานการณ์นี้ ขนาดอนุภาคควรเท่ากันที่สุด และช่วงขนาดอนุภาคควรแคบลง หากมีอนุภาคขนาดใหญ่ จะทำให้พื้นผิวเซรามิกเสียหายได้ง่าย ถ้ามีอนุภาคละเอียดมากก็จะลดประสิทธิภาพการเจียร ดังนั้นผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียวที่ให้คะแนนโดยการล้างน้ำล้นจึงเป็นสารกัดกร่อนที่เหมาะสม