ผงละเอียด SiC สำหรับหัวจับสูญญากาศเซรามิกพรุน SiC
เซรามิกที่มีรูพรุนของ SiC มีข้อได้เปรียบเหนือกว่าเซรามิกชนิดอื่น เช่น ความแข็งแรงสูง ทนต่อการกัดกร่อนได้ดี ทนต่ออุณหภูมิสูง การนำความร้อนสูง ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ ทนต่อการกระแทกเนื่องจากความร้อนได้ดีจึงเป็นเซรามิกหัวจับสูญญากาศที่เหมาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการยึดติด การตัด การติดตั้งเทป การขัดเงา เป็นต้น ผงละเอียดของ SiC เป็นเพียงวัตถุดิบสำหรับหัวจับสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุนของ SiC
ข้อดีของผงละเอียดซิลิกอนคาร์ไบด์ สีดำ สำหรับหัวจับสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุน SiC คือ:
1. ทนต่อการสึกหรอและทนต่ออุณหภูมิสูง สามารถตอบสนองความต้องการในการทำงานต่อเนื่องระยะยาวของหัวจับ
2. อัตราการขยายตัวทางความร้อนต่ำ ป้องกันความล้มเหลวที่เกิดจากการเสียรูปปริมาตร
3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดี ผงละเอียดซิลิกอนคาร์ไบด์ไม่ทำปฏิกิริยากับวัสดุดูดซับภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง
4. มีเสถียรภาพทางเคมีสูง ไม่มีก๊าซกัดกร่อนหรือไฟฟ้าลัดวงจรจะเกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ
5. สามารถควบคุมขนาดอนุภาคของผงไมโครซิลิกอนคาร์ไบด์ได้ เหมาะสำหรับการผลิตหัวจับสูญญากาศเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์บางเฉียบ
6. หลังจากการทำความสะอาดทางเคมีและการล้างด้วยน้ำ ปริมาณและปริมาณของผงละเอียดซิลิกอนคาร์ไบด์สีดำจะต่ำมาก
